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洁净度等级标准ISO 14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。


1、 美国联邦标准(USA Federal Standard)209E(1992年)

洁净度级别

粒   径(um)

 

0.1

0.2

0.3

0.5

5.0

1

35.0

7.50

3.00

1.00

NA

10

350

75.0

30.0

10.0

NA

100

NA

750

300

100

NA

1000

NA

NA

NA

1000

7.0

10000

NA

NA

NA

10000

70.3

100000

NA

NA

NA

100000

700

 

单位:尘埃数量个/ft3

 

2、空气洁净度分级标准:ISO14644-1 (国际标准) 

 空气洁净度等级(N)

大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2

 

 

 

 

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

 

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

 

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

 

35 200 000

8 320 000

293 000

注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。

 

3、空气洁净度分级标准:GB/T16292-1996(中国标准)

 粒径、数值洁净度级别

尘埃最大允许数/立方米

微生物最大允许数

≥0.5um

≥5um

浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100 级

3,500

0

5

1

10,000 级

350,000

2,000

100

3

100,000 级

3,500,000

20,000

500

10

300,000 级

10,500,000

60,000

15

 

4、英国5295 标准洁净室和空气净化装置分级:

 空气洁净度等级(N)

大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)

0.3um

0.5um

5um

10um

25 um

C

100

35

0

 

 

D

1000

350

0

E

10000

3500

0

F

 

3500

0

G

100000

35000

200

0

H

 

35000

200

0

J

 

350000

2000

450

0

K

 

3500000

20000

4500

500

L

 

 

200000

45000

5000

M

 

450000

50000

 

5、各种国际标准的比较: 

 美国联邦

美国联邦

英国标准

澳大利亚标准

法国标准

德国标准

国际标准

日本标准

标准 209D

标准 209E

BS5295

AS1386

AFNORX44101

VDI2083

14644-1

JACA24

 

 

 

 

 

 

1

1

 

 

 

 

0

2

2

1

M1.5

C

0.035

1

3

3

10

M2.5

D

0.35

2

4

4

100

M3.5

E

3.5

4000

3

5

5

1000

M4.5

G

35

4

6

6

10000

M5.5

J

350

400000

5

7

7

100000

M6.5

K

3500

4000000

6

8

8

 

 

M

 

 

7

9

美国联邦

美国联邦

英国标准

澳大利亚标准

法国标准

德国标准

国际标准

日本标准